氣體質量流量控制器能夠在較大的量程范圍內對氣體的質量流量進行精密測量和控制。氣體質量流量計能夠在較大的量程范圍內對氣體的質量流量進行精密測量。氣體質量流量控制器是帶有控制氣體質量流量的裝置，氣體質量流量計是不具有控制氣體質量流量功能的裝置。

　　氣體質量流量控制器在石化工業、半導體和集成電路工業、特種材料學科、醫藥、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。氣體質量流量控制器其典型的場合包括：電子工藝設備，如、氧化、CVD、擴散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、；以及微反應裝置、混氣配氣系統、鍍膜設備、光纖熔練、氣相色譜儀及其它分析儀器。氣體質量流量控制器的原理和應用質量流量控制器用于對各種氣體的質量流量進行精密測量和控制，并廣泛用于石油化工、冶金、制藥等行業。

　　氣體質量流量控制器和質量流量計具有精度高、響應速度快、重復性好、穩定性佳、軟啟動、工作壓力范圍寬等特點(氣體質量流量控制器可以在高壓或真空條件下工作)，氣體質量流量控制器其操作使用方便，可任意位置安裝調試，并更好的與計算機連接實現自動控制。