氣體質量流量計采用兩只經過嚴格篩選，各項參數匹配一致并帶有保護套管的鉑熱電阻（RTD）作為基本測量原件，RTD探桿采用全焊接方式連接，加工精細焊接不會有氣孔和虛焊等現象，同時可真正做到防止堵塞，牢固耐用。

　　判斷氣體質量流量計優劣，實流標定技術是極為重要的，因為氣體質量流量計測量的氣體介質的熱導性都不同，每一種氣體介質的比熱容在不同溫度和壓力的數值是不一樣的。單純依靠常壓或者負壓空氣標定，然后修正的方式來測量流量值是不準確的。實事證明沒有實流標定的流量計測量非空氣介質，數據偏差很大。目前市場上氣體質量流量計大都采用負壓空氣標定，然后修正到高壓力工況，或者修正到其他氣體，比如甲烷（天然氣）、氫氣、氦氣、氬氣等等。修正標定必然導致測量精度不能保證，空氣介質標定后的表應用在其他氣體介質，測量精度也無法保證。

　　氣體質量流量計能自動控制氣體流量，即用戶可根據需要進行流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定值上，即使系統壓力有波動或環境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。簡單地說，氣體質量流量計器就是一個穩流裝置，是一個可以手動設定或與計算機聯接自動控制的氣體穩流裝置。

　　氣體質量流量計由流量傳感器、分流器通道、流量調節閥門和放大控制器等部分組成。氣體質量流量計采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量(無需溫度壓力補償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大，放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較，再將差值信號放大后去控制調節閥門，閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質量流量控制器配套的流量顯示儀上設置有穩壓電源，數字電壓表，設定電位器，外設、內設轉換和三位閥控開關等。

　　氣體質量流量計一種電磁驅動的機械振動型的流量測量儀表，構成該流量計測量管的材料會受到工藝介質壓力和溫度的影響。而安裝在管道中的流量測量管(也稱流量振動管)又會受到工廠管線的機械振動、機械應力、機械扭力等對測量的影響。另外氣體質量流量計本身表現出的誤差特性則呈現“喇叭筒”，而并非以不同的流量呈現一條平的直線。鑒于以上原因，提高氣體質量流量計實用準確度的措施為：

　　1)針對氣體質量流量計的實際工藝參數，對該流量計進行“個性化標準”，從而實現在實際使用流量點的一定范圍內，該氣體質量流量計的實際測量誤差(與標準值的差)趨于零;

　　2)把好氣體質量流量計的安裝環節，減少或消除機械應力、機械扭力和機械振動等對該流量計使用的影響;

　　3)考慮工藝壓力、溫度等對氣體質量流量計測量準確度的影響;

　　4)把好氣體質量流量計的投用關。