質量流量控制器是利用熱擴散原理測量氣體流量的儀表。質量流量控制器傳感器由兩個基準級熱電阻(RTD)組成。一個是速度傳感器RH，一個是測量氣體溫度變化的溫度傳感器RMG。當這兩個RTD置于被測氣體中時，其中傳感器RH被加熱，另一個傳感器RMG用于感應被測氣體溫度。隨著氣體流速的增加，氣流帶走更多熱量，傳感器RH的溫度下降。質量流量控制器根據熱效應的金氏定律,加熱功率P、溫度差△T（TRH-TRMG）與質量流量Q有確定的數學關系式。 P/△T=K1+K2 f(Q)K3 K1、K2、K3是與氣體物理性質有關的常數。質量流量控制器*的溫度差測量方式克服了采用恒溫差原理的熱式氣體質量流量計測量煤氣流量時因煤氣中含水、油和雜質而造成的很大的零點漂移，導致無法測量的弊端。質量流量控制器也可以用于測量濕氣體的質量流量，如礦井下瓦斯抽放、送風，排風系統中的風量（速）的實時檢測。

　　質量流量控制器的應用領域廣泛，而且測量很方便。為了把測量誤差減小到低，我們在使用質量流量控制器時，需要注意以下事項：

　　1、測量氣體流量時必須保持恒定的比定壓熱容，因此質量流量控制器不能用于測量成分變化的氣體。

　　2、被測量的氣體必須是干燥的，測量時的氣體工況不要接近臨界點，以免引起液化相變等不穩定狀態。

　　3、測量易汽化液體應注意流量計的加熱對被測液體的影響，必要時選擇有制冷元件(負加熱元件)的質量流量控制器。

　　4、液體中不能混入氣泡，不能用于混相流或可能產生相變的流體。

　　5、質量流量控制器應用于含有煙霧和塵埃氣體的管線，必要時在儀表裝分離器或過濾器。

　　注意了以上這些事項，可降低質量流量控制器的測量誤差，測量結果更準確。