質量流量控制器，其原理如下：

“在直徑較細的感應管中放置兩對加熱器，并將其控制在同一溫度。當流體流動時，氣體將上游的部分熱量帶給下游，而下游的加熱器從上方獲取熱量溫度上升。這時，利用上下加熱器之間產生的溫度差和流體的質量流量成比例的原理，來測定流量。”（附：qm=KCpA△T Cp定壓比熱容 A測量管繞組（即加熱系統）與周圍環境熱交換系統之間的熱傳導系數； K -------儀表常數）

想像一下……放置兩臺電熱器，用一條線將兩臺電熱器連接起來，自己坐在線的中點處交叉的直角線上，很暖和。兩臺電熱器發散同樣的熱量，你坐在離兩臺電熱器同等距離的正中間位置，接受雙方的熱量，是溫度高的地方。在這個炎熱的季節，說這樣的話，真是熱得無法忍受啊…… 這時，在側面加一個電風扇，離電風扇近的一方發散出來的熱，被吹到遠一點的電熱器，你坐的地方也會覺得稍微涼一些。風扇吹得越快就越涼快。 這和熱式感應管中的道理一樣，風扇的強度（風量）=氣體的流量。反過來，要想檢測流量的話，可以說“測量一下氣體流過的時候兩臺電熱器之間移動的熱量即可”

氣體質量流量控制器用途

1. 鍋爐、裂解爐用燃料氣質量流量測量控制；

2. 石油化工、采油、火炬氣質量流量測量；

3. 燃燒爐用空氣質量流量測量控制;燃汽輪機氫氣質量流量和控制；

4. 食品加工及飲料氣體質量流量和控制；

5. 水廠cl2質量流量控制；

6. 生產半導體時高純度氣體質量流量測量；

7. 催化劑、化學添加劑質量流量測量；

8. 泵的保護控制、泵密封、潤滑油池泄漏檢測；

9. 空調系統控制；

10. 儀表用空氣、工藝空氣、氮氣等質量流量測量。

11. 氣體分析儀，大氣采樣器

12. 泄露監測

13. 氣體分配系統

14. 實驗室氣體測量

15. 醫學應用

16. 燃料電池

17. 應用氣體：Air, O2, N2, He, Ar, CO2, H2, CH4, C3H8, N2O, SF6, C3H6, CO, C4H10, 等絕大多數氣體。

實際使用中發現，當輸入的氣體不同時控制顯示的數值與實際不符，其實原因很簡單，因為在MFC行業中，有一種參數叫CF，即氣體轉換系數（下面簡稱CF）。而MFC行業中又把N2（氮氣）定義為標準氣體M。N2的C值為1.00，其他的氣體以氮氣為中心，分布在0.1到1.4左右。

CF大于1.00的代表氣體是單原子氣體He(氦)、Ar(氬)、Kr(氪)、Xe(氙)。和N2相近的氣體有02（氧氣）、H2（氫氣）、F2（氟）等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是幾種氣體的混合在一起的話，簡單的分析其比率，用各自的CF值計算即可。