質(zhì)量流量控制器是現(xiàn)代電子設(shè)備工藝氣體流量控制的*的控制單元。質(zhì)量流量控制器的原理和應(yīng)用質(zhì)量流量控制器用于對各種氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制，大量用于電子工藝設(shè)備（如擴散、氧化、外延、ＣＶＤ、等離子刻蝕、濺射等）以及鍍膜設(shè)備、光導(dǎo)纖維制造中；并廣泛用于石油化工、冶金、制藥等行業(yè)。質(zhì)量流量控制器通常由流量傳感器、流量調(diào)節(jié)閥、放大控制器和分流器通道等組成。質(zhì)量流量控制器的工作電源及流量顯示和設(shè)定等操作由與其配套的流量顯示電源盒提供。

　　近十幾年來,質(zhì)量流量控制器在食品、飲料、化工、制藥、石油、天然氣等行業(yè)獲得了廣泛的應(yīng)用。隨著人們的關(guān)注，質(zhì)量流量控制器的性能也在不斷地發(fā)展。其大的優(yōu)點是能夠直接地測量質(zhì)量流量，而其他的儀器只能測量體積流量。質(zhì)量流量控制器的高精度、寬量程、重復(fù)性也是其在工業(yè)領(lǐng)域中獲得廣泛地應(yīng)用和快速地發(fā)展的進一步原因。

　　質(zhì)量流量控制器的驅(qū)動電路產(chǎn)生特定驅(qū)動脈沖讓管子以一定的幅度振動。當流體的性質(zhì)發(fā)生改變時，驅(qū)動電路必須能快速響應(yīng)。比如當流體中混入氣泡時，阻尼會迅速增加，這要求系統(tǒng)迅速提供更多的激勵能量，以保證振蕩幅度平穩(wěn)。

　　激勵頻率要和系統(tǒng)的諧振頻率一致，這要求驅(qū)動電路不僅能控制振蕩幅度，還要能控制振蕩頻率。質(zhì)量流量控制器的動態(tài)響應(yīng)性能在一些應(yīng)用如快速控制操作、周期流量波動、快速批灌是十分重要的因素。

　　傳感器獲得的是微弱的正弦信號，其在進一步的信息處理前需要進行放大。所用到的放大器要有很大的帶寬以減小額外的零點誤差。在質(zhì)量流量控制器的相位差測量中。幅值比測量法和時間差的直接測量法，主要是依靠模擬電路來實現(xiàn)，可稱為模擬式的。模擬電路的穩(wěn)定性較差。易受環(huán)境溫度等因素的影響，終影響到其計量精度。

　　質(zhì)量流量控制器采用傅里葉變換算法，輔以鎖相環(huán)技術(shù)，使用雙通道高速高精度的A／D芯片對兩路傳感器信號同步采樣后．以數(shù)字信號處理器DSP為運算核心，實時地計算出兩路信號的相位差和頻率，從而得到流體的質(zhì)量流量和密度等信息，實現(xiàn)了從模擬式到數(shù)字式的轉(zhuǎn)變。與傳統(tǒng)的模擬式的相比，減少了模擬電路對相位差測量的影響。質(zhì)量流量控制器采用傅里葉算法把信號從時域變換到頻域進行頻譜分析，可以對信號更加準確、有效、快速地分析與處理，有效地抑制了高次諧波和噪聲的干擾，提高了相位差和頻率的測量精度，進而提高了質(zhì)量流量控制器的計量精度。